1、半導體潔凈車間的潔凈生產區

潔凈生產區的氣體潔凈室等級需根據商品生產工藝流程的規定來明確，這是潔凈工程建筑廠房設計的關鍵依據，客戶除了出示基本的施工工程圖紙外，還應出示所生產制造商品的各種各樣設計標準，如溫度、濕度、氣旋流形要求，生產所需原輔材料特性及水、電、氣要求等。

2、機器設備區

即空調凈化系統軟件、公用電廠等，是潔凈廠房的關鍵組成部分。在半導體潔凈車間設計中，空調凈化機器設備、制冷供暖應布置在凈化車間內，便于管理，減少管道長度。

3、潔凈輔助間

這是半導體潔凈車間不可或缺的房間，房間的氣體潔凈室等級除開按顧客規定開展設計外，均按《潔凈廠房設計規范》GB50073-2001的要求設計。

4、管理區

這是半導體潔凈車間內的商品加工過程的企業生產管理、技術水平的管理和必需的實際操作工作人員的管理區域。